北京科華KrF深紫外負(fù)性光刻膠亮相科技周

  8月20日，2022年全國科技活動(dòng)周暨北京科技周活動(dòng)在北京盛大開模，本次科技周活動(dòng)以“走進(jìn)科技，你我通行”為主題 展示了“十四五”期間北京領(lǐng)先科技創(chuàng)新成果，特別是“三城一區(qū)”建設(shè)進(jìn)展以及人工智能芯片、通信、腦科學(xué)前沿、雙碳、生物制藥、醫(yī)療器械、元宇宙等領(lǐng)域的關(guān)鍵或核心技術(shù)成果。

   本屆科技周展區(qū)面積約為1.4萬平方米。其中室內(nèi)展區(qū)4000平方米，戶外互動(dòng)展區(qū)10000平方米，共展了300余個(gè)展項(xiàng)。借助VR、三   維視覺等展示技術(shù)，通過創(chuàng)新發(fā)明成果、科普基地活動(dòng)、冬奧互動(dòng)體驗(yàn)等具體內(nèi)容，為觀眾帶來互動(dòng)性強(qiáng)，體驗(yàn)性好的科普盛宴。

   在本屆科技周的活動(dòng)中，北京科華展出了DKN系列KrF深紫外負(fù)性光刻膠成果，該項(xiàng)成果由北京市科委，中關(guān)村管委會(huì)科技資金支持開發(fā)，可廣泛用于集成電路深溝槽工藝，產(chǎn)品性能達(dá)到或超過國外同類產(chǎn)品性能，并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)商用。該項(xiàng)成果的成功產(chǎn)業(yè)化，意味著我國KrF深紫外光刻膠技術(shù)水平得到了進(jìn)一步提升，國產(chǎn)化KrF深紫外光刻膠產(chǎn)品序列更加完善。